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“中國造”LED芯片生產關鍵設備下線

發(fā)表于:2012-12-10 點擊數:339
  我國國產的代表國際尖端水平的高亮度LED芯片生產關鍵設備MOCVD(金屬有機化學氣相沉積設備)在正泰集團上海張江理想能源設備有限公司6日成功下線,打破了該領域長期被歐美企業(yè)壟斷的局面,國內LED生產成本有望顯著下降。

 ?。停希茫郑氖歉吡炼龋蹋牛男酒a過程中最關鍵的設備,因設備技術難度高、開發(fā)周期長以及國內產業(yè)化起步晚等原因,武漢LED顯示屏市場主要被歐美企業(yè)所壟斷。

  近年來,隨著高亮度LED在戶外顯示、液晶面板背光、汽車應用等領域滲透率的不斷提高,特別是半導體武漢LED照明與顯示屏武漢LED顯示屏市場的啟動,對量產型MOCVD設備的需求呈現出爆發(fā)性的增長,全球年需求達數百臺、武漢LED顯示屏市場規(guī)模數十億美元。

  我國LED外延芯片與封裝在規(guī)模和品質上都取得了舉世矚目的成就,產品國產化比例顯著提升,但關鍵裝備特別是量產型MOCVD仍然依靠進口,生產成本居高不下,嚴重制約著LED產業(yè)的發(fā)展。因此開發(fā)出更高性價比的國產商業(yè)化MOCVD設備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。

 ?。玻埃保澳辏乖?,理想能源啟動MOCVD項目,在兩年時間里,理想能源技術團隊設計開發(fā)出了具有自主知識產權的MOCVD設備,并完成了第一代單腔體獨立設備和高產出率的簇式生產系統(tǒng)的生產組裝,成功地實現GaN基LED外延片的發(fā)光。

  經過設備原型機近1年的運行證明其性能達到預定指標,于2012年5月通過上海市科委的驗收。依據工藝驗證結果和客戶反饋,在第一代原型機的基礎上開發(fā)出第二代量產型MOCVD設備,單腔一次可生產84片2英寸外延片,超過主流進口設備。

  量產機型在產出率、可靠性、運行經濟性等方面都有了顯著的提升,最適合商業(yè)量產,該產品已申請20項國內外專利。


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