?。停希茫郑氖歉吡炼龋蹋牛男酒a(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵的設(shè)備,因設(shè)備技術(shù)難度高、開(kāi)發(fā)周期長(zhǎng)以及國(guó)內(nèi)產(chǎn)業(yè)化起步晚等原因,武漢LED顯示屏市場(chǎng)主要被歐美企業(yè)所壟斷。
近年來(lái),隨著高亮度LED在戶外顯示、液晶面板背光、汽車(chē)應(yīng)用等領(lǐng)域滲透率的不斷提高,特別是半導(dǎo)體武漢LED照明與顯示屏武漢LED顯示屏市場(chǎng)的啟動(dòng),對(duì)量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備的需求呈現(xiàn)出爆發(fā)性的增長(zhǎng),全球年需求達(dá)數(shù)百臺(tái)、武漢LED顯示屏市場(chǎng)規(guī)模數(shù)十億美元。
我國(guó)LED外延芯片與封裝在規(guī)模和品質(zhì)上都取得了舉世矚目的成就,產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化比例顯著提升,但關(guān)鍵裝備特別是量產(chǎn)型MOCVD仍然依靠進(jìn)口,生產(chǎn)成本居高不下,嚴(yán)重制約著LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。因此開(kāi)發(fā)出更高性價(jià)比的國(guó)產(chǎn)商業(yè)化MOCVD設(shè)備是海峽兩岸LED外延芯片企業(yè)的迫切要求。
?。玻埃保澳辏乖?,理想能源啟動(dòng)MOCVD項(xiàng)目,在兩年時(shí)間里,理想能源技術(shù)團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備,并完成了第一代單腔體獨(dú)立設(shè)備和高產(chǎn)出率的簇式生產(chǎn)系統(tǒng)的生產(chǎn)組裝,成功地實(shí)現(xiàn)GaN基LED外延片的發(fā)光。
經(jīng)過(guò)設(shè)備原型機(jī)近1年的運(yùn)行證明其性能達(dá)到預(yù)定指標(biāo),于2012年5月通過(guò)上海市科委的驗(yàn)收。依據(jù)工藝驗(yàn)證結(jié)果和客戶反饋,在第一代原型機(jī)的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)出第二代量產(chǎn)型MOCVD設(shè)備,單腔一次可生產(chǎn)84片2英寸外延片,超過(guò)主流進(jìn)口設(shè)備。
量產(chǎn)機(jī)型在產(chǎn)出率、可靠性、運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性等方面都有了顯著的提升,最適合商業(yè)量產(chǎn),該產(chǎn)品已申請(qǐng)20項(xiàng)國(guó)內(nèi)外專利。
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“中國(guó)造”LED芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備下線(共有 0 條評(píng)論) |